首台国产关键量测设备出机中芯国际新项目完成7万枚99%达标


发布时间:2024-06-20
来源: K8凯发集团
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  随着美国对我国半导体厂商实行的高端技术封禁、海外市场打压,代表国内芯片代工领域技术天花板的中芯国际,成为很多国人的关注对象。

  我是柏柏说科技,资深半导体科技爱好者。本期带大家了解的是:中芯国际获得国内首台关键尺寸量测设备。月产能7万,良品率达99%,中芯国际又一“芯”项目完成。

  老规矩,开门见山。2021年7月,国产芯片制造良率管理设备厂商“东方晶源”在北京举行了题为“国内首台关键尺寸量测设备”的出机仪式。东方晶源在出机仪式中,庆祝自己与中芯国际达成的合作业务。即型号为:SEpA-c410,应用于300mm硅片工艺制程的关键尺寸量测设备成功出机中芯国际。

  值得一提的是,东方晶源并不是第一次与中芯国际合作,早先东方晶源的首台电子束缺陷检测设备也是出货给中芯国际使用。值得一提的是:东方晶源向中芯国际出货的关键尺寸量测设备,已经通过了中芯国际的12英寸产线验证。这在一定程度上体现出东方晶源的研发实力已获得行业的高度认可。

  此外,2021年7月份,浙江日报消息:又一个重要项目被中芯国际成功攻坚。即位于浙江绍兴的中芯绍兴成功完成晶圆设备链调试。8英寸晶圆月产能增至7万片,良品率达99%。用于制造半导体芯片的8英寸晶圆获大批量投产,有助于缓解“晶圆饥荒”给我国半导体带来的冲击。

  补充一点,目前半导体领域应用范围最广的是8英寸、12英寸晶圆。中芯绍兴量产成功的8英寸晶圆,可用于智能汽车、智能家居家电的芯片制造。简单了解完中芯国际完成的“芯”项目。让我们将目光放在本文的主人公“东方晶源”的身上。

  国内首台关键尺寸量测设备出机中芯国际,将给东方晶源、中芯国际以及我国半导体行业带来怎样的促进作用呢?在此之前,我们要先搞清楚关键尺寸量测设备是什么。

  芯片代工厂商要想生产出高良品率的芯片,除了芯片制造的主要工艺外,缺陷检测以及各项关键尺寸的检测也是工艺流程中不可或缺的环节。东方晶源出台的这台300mm硅片量测设备,其作用是对有效制程效力范围内的各项环节进行工艺评定。例如的薄膜厚度是否符合制程标准,芯片在完成刻蚀流程环节后,是否会影响硅片电性参数等。

  可不要小瞧芯片制造过程中的检测环节,如果芯片厂商没有对各个环节进行检测,所制成的半导体芯片的性能表现、良品率将得不到保障。倘若某一环节出现错误,在脱离关键尺寸量测设备的前提下,代工厂商得不到及时反馈,所带来的损失往往是巨大的。

  更何况东方晶源在推出这台量测设备前,我国使用的都是国外厂商的设备,并没有自己的设备。这对我国芯片代工行业的发展是不利的。东方晶源成功打破技术瓶颈,制备出国内首台关键尺寸测量设备,弥补了我国在芯片代工检测环节中的空白,为国产半导体供给链增添了一份力量。

  对于中芯国际来说,东方晶源出货的关键尺寸量测设备,为中芯国际实现技术去美化提供了一定的促进作用,有利于缓解中芯国际在芯片制造过程中被国外技术“卡脖子”的压力。相应地,我国在半导体领域中也少了一项被国外“卡脖子”的关键核心技术。

  对于东方晶源来说,中芯国际对自家产品的认可,有助于东方晶源进一步打开国内市场,提高营收,促进东方晶源产业链条的调整、升级、完善。有助于缩短自家设备与国外设备之间的差距,提高市场竞争力。

  有一点需要注意,与传统行业不同,半导体行业准入门槛高,技术集中度高。目前我国在芯片代工领域中,与国外量测设备之间的技术差距还是比较大的。毕竟世界上不存在一生下来就会跑的技术,所有技术都是在不断地积累中成熟的。

  千里之行始于足下,东方晶源推出国内首台关键尺寸量测设备,给国内其它类似经营业务的企业打好样。相信日后我们在芯片制造量测设备中会获得更多的成就、国产量测设备也会有更好的表现。祝愿国产半导体厂商日益强大,早日掌握核心技术,在半导体领域中所向披靡。

  对于“中芯绍兴实现8英寸晶圆设备链大规模投产”这件事情,大伙有什么想说的呢?东方晶源等其它国产量测设备厂商,能否实现与国外量测设备技术持平的目标呢?欢迎在下方留言评论。我是柏柏说科技,资深半导体科技爱好者。关注我,带你了解更多资讯,学习更多知识。